lehu88乐虎国际娱乐漏率校准装置的研制和应用

来源:lehu88乐虎国际娱乐技术网(www.chvacuum.com)中国工程物理研究院电子工程研究所 作者:刘兴胜
  lehu88乐虎国际娱乐漏率校准装置可以对(105 ~ 10-4)Pa 范围内的各种lehu88乐虎国际娱乐计和(10-7 ~ 10-9)Pa·m3/s 的lehu88乐虎国际娱乐漏孔进行校准。该装置的特点是结构简单、量程宽、易操作和工作效率高。   lehu88乐虎国际娱乐计量学主要是随着尖端科学和国防军工的发展,从二十世纪五、六十年代开始逐步发展起来的一门新的独立学科。在lehu88乐虎国际娱乐校准装置方面,经历了开创、成长到发展阶段,当前的一个趋势就是lehu88乐虎国际娱乐标准的实用化、金属化、简便化。作为国防军工二级lehu88乐虎国际娱乐计量站,我们现在每年校准lehu88乐虎国际娱乐计400 余台,lehu88乐虎国际娱乐漏孔几十个。随着科学技术的进步,特别是国防科技的发展,为了提高工作效率,解决越来越多lehu88乐虎国际娱乐计及lehu88乐虎国际娱乐漏孔的校准任务,更准确的为我院科研生产服务,制了一套新的lehu88乐虎国际娱乐漏率校准装置。   1、装置原理   该装置采用了动态比对法、静态膨胀法和静态比对法对(105 ~ 10-4)Pa 范围内的各种lehu88乐虎国际娱乐计,采用相对法对(10-7 ~ 10-9)Pa·m3/s 的lehu88乐虎国际娱乐漏孔进行校准,满足了实际工作需要。装置原理图如图1所示。 lehu88乐虎国际娱乐漏率校准装置的研制和应用 图1 装置原理图   比对法校准lehu88乐虎国际娱乐计:通过微调阀注入所需校准气体,当校准容器中所需lehu88乐虎国际娱乐度稳定后,用主标准器和被校lehu88乐虎国际娱乐计同时测量校准容器或lehu88乐虎国际娱乐系统中的同一lehu88乐虎国际娱乐度值,将测得lehu88乐虎国际娱乐度值直接进行比较。   膨胀法校准lehu88乐虎国际娱乐计:膨胀法是把低lehu88乐虎国际娱乐室当作取样室,把高lehu88乐虎国际娱乐室当作膨胀室。它是将已知lehu88乐虎国际娱乐度的取样气体充入到小体积中,然后等温膨胀到已知的大体积中,根据玻义耳定律算出标准lehu88乐虎国际娱乐度值,再与被校lehu88乐虎国际娱乐计进行比较。   漏孔校准:将被校lehu88乐虎国际娱乐漏孔直接与已知漏孔的参考漏孔进行相对校准,根据已知参考漏孔漏率计算出被校漏孔漏率。   2、装置设计技术方案   装置优异的性能主要取决于合理的设计和选用精度高、性能可靠的主标准器。整套装置由校准室、主标准器、抽气系统和电控系统四部分组成,采用全金属超高lehu88乐虎国际娱乐结构设计。为了加速校准室容器表面的出气,获得良好的极限lehu88乐虎国际娱乐,在高lehu88乐虎国际娱乐校准室上缠绕烘烤带进行烘烤出气。   校准室突破了通常只有一个校准室的传统,采用了一种新的设计方法,由高lehu88乐虎国际娱乐室和低lehu88乐虎国际娱乐室两个不锈钢球形结构组成。每个球的内径350 mm,壁厚3 mm,球体内外表面做电解抛光处理。双球与单球结构相比,其优点是既可单独进行高lehu88乐虎国际娱乐计或低lehu88乐虎国际娱乐计的校准,又可同时进行高低lehu88乐虎国际娱乐计的校准,提高了工作效率和减少因进行低lehu88乐虎国际娱乐校准对以后进行高lehu88乐虎国际娱乐校准的影响。此外,又利用双球结构,增加了静态膨胀法的校准,可自身对装置上的高低标准lehu88乐虎国际娱乐计进行校准。   lehu88乐虎国际娱乐本身误差就很大,为了使校准结果更加准确,主标准器全部采用进口标准。其中,低lehu88乐虎国际娱乐标准选用美国MKS 公司最精密级690A 型电容薄膜规,由量程133.3 kPa 和133.3 Pa 这两个规组成装置的低lehu88乐虎国际娱乐标准器。高lehu88乐虎国际娱乐标准选用美国GP 公司的370 型电离规。四极质谱计选用德国INFICON 公司的Transpector 2 质谱计。   lehu88乐虎国际娱乐抽气系统由分子泵机械泵闸板阀和挡油阱组成。其中,分子泵选用北京中科科仪公司FF-160/620C 型分子泵。机械泵选用宁波爱科发公司GLD-N201 机械泵。闸板阀选用美国VAT公司的DN160CF 型闸板阀。   电控系统采用电脑采集和处理校准数据,电控系统内安装铭牌、系统控制面板、标准电容薄膜lehu88乐虎国际娱乐计、标准电离lehu88乐虎国际娱乐计、复合lehu88乐虎国际娱乐计、分子泵控制器和电器控制等电源。系统控制面板上有装置系统图,并显示阀门开闭情况。设备工作情况有指示灯显示。lehu88乐虎国际娱乐技术网(http://www.chvacuum.com/)认为合理的设计技术方案,高规格的配置,提高了我院的科研生产能力。   5、结论   该装置具有结构简单、量程宽、易操作和工作效率高等特点。经过性能测试, 可以对(105 ~ 10-4)Pa 范围内的各种lehu88乐虎国际娱乐计及(10-7 ~ 10-9)Pa·m3/s 的lehu88乐虎国际娱乐漏孔进行校准。如今已建标完成,正式投入使用一年多,使用状况良好,对我院的科研生产具有重要的保障作用。   lehu88乐虎国际娱乐漏率校准装置的研制和应用为lehu88乐虎国际娱乐技术网首发,转载请以链接形式标明本文首发网址。   http://www.chvacuum.com/leakhunting/037037.html   与 lehu88乐虎国际娱乐检漏 lehu88乐虎国际娱乐漏率 相关的文章请阅读:   lehu88乐虎国际娱乐检漏http://www.chvacuum.com/leakhunting/